ก่อนทศวรรษ 1930 โดยพื้นฐานแล้วมีเพียงเยอรมนีและฝรั่งเศสเท่านั้นที่สามารถผลิตเครื่องกำเนิดออกซิเจนได้ในเวลานั้น เครื่องกำเนิดออกซิเจน (เครื่องกำเนิดออกซิเจนดูดซับแรงดันผันแปร) สามารถตอบสนองความต้องการของอุปกรณ์การผลิตออกซิเจนและไนโตรเจนในการเชื่อมและตัดเท่านั้นที่จำเป็นสำหรับอุตสาหกรรมเคมีการผลิตเครื่องกำเนิดออกซิเจนส่วนใหญ่มีขนาดเล็กและขนาดกลาง โดยมีกำลังการผลิต 2 ลูกบาศก์เมตรต่อชั่วโมง ถึง 600 ลูกบาศก์เมตรต่อชั่วโมง และประมาณ 200 สายพันธุ์ดิเครื่องกำเนิดออกซิเจนกระบวนการที่ใช้เป็นกระบวนการแรงดันสูงและแรงดันปานกลาง
ตั้งแต่ปี พ.ศ. 2473 ถึง พ.ศ. 2493 นอกเหนือจากเยอรมนีและฝรั่งเศส ประเทศอื่นๆ เช่น สหภาพโซเวียต ญี่ปุ่น สหรัฐอเมริกา และสหราชอาณาจักร ก็เริ่มผลิตเครื่องกำเนิดออกซิเจนด้วยในช่วงเวลานี้ ด้วยการพัฒนาการผลิต ขอบเขตการใช้งานของเครื่องกำเนิดออกซิเจน (เครื่องกำเนิดออกซิเจนแบบดูดซับแรงดันแบบแปรผัน) ได้ขยายออกไปและได้ส่งเสริมการพัฒนาเครื่องกำเนิดออกซิเจนขนาดใหญ่เนื่องจากวัสดุไฟฟ้าและโลหะที่จำเป็นในการผลิตออกซิเจน 1 m3 ในเครื่องกำเนิดออกซิเจนขนาดใหญ่นั้นสูงกว่าเครื่องกำเนิดออกซิเจนขนาดเล็กและขนาดกลาง ความหลากหลายของเครื่องกำเนิดออกซิเจนขนาดใหญ่จึงเพิ่มขึ้นจากปี 1930 ถึง 1950 เช่น 5000 m3/h ใน เยอรมนีตะวันตก 3600 m3/h ในสหภาพโซเวียต และ 3000 m3/h ในญี่ปุ่นกระบวนการที่ใช้ในขณะนั้น นอกเหนือจากแรงดันสูงและปานกลาง เริ่มใช้กระบวนการแรงดันสูงและต่ำในปี 1932 เยอรมนีใช้เครื่องกำเนิดออกซิเจนในอุตสาหกรรมโลหะและแอมโมเนียเป็นครั้งแรก
หลังปี 1950 นอกจากเครื่องกำเนิดออกซิเจน (เครื่องกำเนิดออกซิเจนแบบดูดซับแรงดันผันแปร) ที่ผลิตในประเทศข้างต้นแล้ว ยังมีจีน สาธารณรัฐเช็ก เยอรมนีตะวันออก ฮังการี อิตาลี เป็นต้น (จีนเป็นผู้พัฒนาที่ล่าช้า ทั้งหมดเป็นแบบระบายความร้อนลึก ).
เนื่องจากการพัฒนาของอุตสาหกรรมเหล็ก อุตสาหกรรมปุ๋ยไนโตรเจน และเทคโนโลยีจรวด การใช้ออกซิเจนและไนโตรเจนจึงเพิ่มขึ้นอย่างรวดเร็ว ซึ่งได้ส่งเสริมการพัฒนาเครื่องกำเนิดออกซิเจนในวงกว้างตั้งแต่ปีพ.ศ. 2500 ได้มีการเปิดตัวเครื่องกำเนิดออกซิเจน 10,000 ลบ.ม./ชม. ทีละเครื่องตั้งแต่ปี 1967 ตามสถิติที่ไม่สมบูรณ์ มีเครื่องกำเนิดออกซิเจนขนาดใหญ่ 87 เครื่องที่สูงกว่า 20,000 m3/h หน่วยที่ใหญ่กว่าคือ 50,000 m3/h และหน่วยที่ใหญ่กว่านั้นอยู่ระหว่างการพัฒนา
ในช่วง 20 ปีที่ผ่านมา กลุ่มผลิตภัณฑ์ได้เพิ่มขึ้นอย่างรวดเร็วและค่อยๆ ก่อตัวเป็นชุดตัวอย่างเช่น เครื่องกำเนิดออกซิเจนขนาดใหญ่ของ Linde ของเยอรมนีตะวันตกมีผลิตภัณฑ์ทั่วไป 1,000 ~ 40000m3 / hkobelco ญี่ปุ่นมีซีรีส์ OF;ญี่ปุ่นฮิตาชิผลิตรุ่น TO ทั้งหมด;Japan Oxygen มีประเภท NR;สหราชอาณาจักรมีผลิตภัณฑ์ซีรีย์ 50 ~ 1500 ตัน / วันในเวลาเดียวกัน เครื่องกำเนิดออกซิเจนขนาดใหญ่โดยทั่วไปใช้กระบวนการแรงดันต่ำเต็มรูปแบบ
กล่าวโดยย่อ การพัฒนาเครื่องกำเนิดออกซิเจน (เครื่องกำเนิดออกซิเจนดูดซับแรงดันผันแปร) เป็นกระบวนการที่ไม่สมบูรณ์ และอุปกรณ์ได้พัฒนาจากขนาดเล็กและขนาดกลางไปจนถึงขนาดใหญ่กระบวนการได้พัฒนาจากแรงดันสูง (200 บรรยากาศ) ความดันปานกลาง (50 บรรยากาศ) และความดันสูงและต่ำเป็นความดันต่ำเต็มที่ (6 บรรยากาศ) จึงช่วยลดการใช้พลังงานของหน่วยและการใช้วัสดุโลหะของเครื่องกำเนิดออกซิเจนและขยายการทำงาน วงจร